意法半導體（ST）近期宣布與新加坡科技研究局微電子研究所（ASTAR IME）、愛發科（ULVAC），以及新增的新加坡科技研究局材料研究與工程研究所（ASTAR IMRE）和新加坡國立大學（NUS）合作，共同深化其在新加坡的“廠內實驗室”（LiF）項目。這一合作旨在加速環保型無鉛壓電材料的應用，促進傳感器和執行器的小型化及成本效益提升。

推動下一代壓電MEMS器件創新

此次合作聚焦于開發并推廣采用環保無鉛材料的節能壓電MEMS器件。這些新型材料將被應用于多種領域，如3D投影和成像中的壓電微機械超聲換能器、個人電子產品內的微型揚聲器，乃至智能手機攝像頭模塊的自動對焦裝置等。通過整合高等院校、初創企業、中小企業與跨國公司的資源，該項目希望加快從概念驗證到市場產品的轉化過程。

意法半導體模擬、功率分立器件、MEMS和傳感器產品部門副總裁兼中央研發總經理Anton Hofmeister表示：“我們非常高興能夠繼續推動這項合作，并歡迎新的合作伙伴加入。這不僅有助于推動壓電MEMS技術的進步，還將支持新一代設備的商業化?！?/p>

強化全球半導體價值鏈中的新加坡地位

新加坡一直致力于成為全球半導體產業的重要一環，而本次合作正是其實現目標的關鍵步驟之一。新加坡科技研究局創新與企業副局長Yeo Yee Chia教授指出：“我們的目標是探索新材料、工具和工藝模塊的研發，并尋找將這些成果推向市場的創新方式?！?這種合作模式不僅有助于加速環保無鉛壓電MEMS器件的市場轉化，還進一步鞏固了新加坡在全球半導體價值鏈中的核心位置。

愛發科的專業貢獻

作為一家專注于先進制造技術解決方案的企業，愛發科也參與到了此次合作中?！拔覀兒軜s幸能夠參與到這樣一個開創性的項目中，為壓電MEMS行業的發展貢獻力量?！?愛發科設備業務總部先進電子設備部執行官兼總經理Harunori Iwai說道。

廠內實驗室：新加坡半導體生態系統的推動力量

廠內實驗室計劃自2020年啟動以來，已經取得了顯著成就，比如成功開發了一種通過物理氣相沉積（PVD）方法生長鋯鈦酸鉛（PZT）薄膜的技術。相比傳統體壓電技術，這種方法大大降低了鉛含量。基于此成功經驗，目前的合作更加深入廣泛。

此外，廠內實驗室還關注其他前沿技術領域，如異構集成先進封裝、碳化硅和氮化鎵等寬帶隙半導體、毫米波射頻技術和光子學等。所有這些都已納入新加坡科技研究創新與企業2025規劃（RIE 2025），旨在推動新加坡成為一個創新驅動的社會經濟體。

結語

意法半導體作為全球領先的MEMS供應商，在過去二十多年里始終處于行業前沿。其垂直整合制造（IDM）模式使其能夠提供從設計到生產的全方位服務。隨著廠內實驗室項目的擴展，意法半導體不僅增強了自身在MEMS領域的領導地位，也為新加坡乃至全球的半導體產業發展注入了新活力。未來，該項目將繼續扮演重要角色，助力新加坡打造一個充滿活力且可持續發展的半導體生態系統。