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深入探析芯片扇出型封裝工藝流程

來源:中芯巨能:提供選型指導+現貨供應+技術支持| 發布日期:2024-04-20 14:00:02 瀏覽量:

隨著集成電路技術的不斷發展,封裝技術也在不斷演進。扇出型封裝(Fan-Out Wafer Level Packaging,簡稱FO-WLP)作為一種先進的封裝技術,在近年來受到了廣泛關注和應用。芯片現貨供應商-中芯巨能將為您介紹扇出型封裝的工藝流程,以及其在集成電路封裝領域的重要性和應用前景。

1. 扇出型封裝概述

扇出型封裝是一種在晶圓級別封裝(WLP)的基礎上發展起來的先進封裝技術。它將芯片封裝在晶圓的表面,然后利用銅柱(Cu Pillar)將芯片連接到基板上,最終形成封裝好的器件。與傳統封裝技術相比,扇出型封裝具有更小的封裝體積、更高的集成度和更低的封裝成本等優勢,因此被廣泛應用于移動通信、消費電子、汽車電子等領域。

2. 扇出型封裝工藝流程

步驟一:準備晶圓

扇出型封裝的工藝流程以準備晶圓作為起始步驟。在這一步驟中,晶圓經過清洗、去除氧化層等處理,以確保后續的工藝可以順利進行。

步驟二:膠水涂布

接下來,將一層特殊的膠水涂布在晶圓表面,以用來粘附芯片和形成封裝體。

步驟三:芯片定位和粘附

將芯片按照預定的位置放置在晶圓表面,然后經過加熱和壓力的作用,使其與膠水牢固粘附在一起。

步驟四:金屬層沉積

在芯片上方沉積一層金屬層,通常采用銅或銀等金屬材料。這一層金屬層將用于后續的銅柱形成和電連接。

步驟五:光刻和蝕刻

利用光刻技術將金屬層進行圖案化處理,然后通過蝕刻將多余的金屬層去除,留下所需的金屬連接部分。

步驟六:銅柱形成

利用電鍍技術,在金屬連接部分上電鍍一層銅,形成銅柱。銅柱將用于連接芯片和基板,完成器件的電連接。

步驟七:填充和平坦化

將填充材料(通常為樹脂)注入到芯片周圍,填充空隙并固化,以增強器件的機械強度和保護性能。然后利用化學機械拋光(CMP)技術對封裝體進行平坦化處理。

步驟八:封裝測試

最后,對封裝好的器件進行測試和檢驗,包括外觀檢查、電氣測試、可靠性測試等,以確保器件的質量和性能符合要求。

3. 扇出型封裝的應用前景

扇出型封裝作為一種先進的封裝技術,具有許多優勢,如封裝體積小、集成度高、封裝成本低等,因此在移動通信、消費電子、汽車電子等領域有著廣闊的應用前景。隨著移動設備的智能化、功能的增強以及對封裝技術的要求不斷提升,扇出型封裝將會成為未來封裝技術的主流之一。

扇出型封裝作為一種先進的封裝技術,在集成電路封裝領域具有重要的地位和應用前景。通過深入了解其工藝流程和優勢特點,可以更好地理解其在電子產業中的重要性和價值。相信隨著技術的不斷進步和應用的不斷拓展,扇出型封裝將為電子產品的發展帶來更多的創新和可能性。

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